2x 6-Achsen-Nanopositioniertisch
Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, Zentrale Vergabestelle, IlmenauFrist abgelaufen
- Frist (abgelaufen)
- vor 300 Tagen abgelaufen
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
- Verfahren
- Öffentliche Ausschreibung
- Ort der Leistung
- nicht angegeben
- Veröffentlicht
- Branche
- Labor und Messtechnik
- CPV
- 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Die Vergabeunterlagen liegen auf der Plattform des Auftraggebers.
Beschreibung
Benötigt werden zwei baugleiche, hochpräzise 6-Achs-Nanopositioniertische mit zentraler freier Apertur zur Positionierung von Proben, Masken oder Substraten. Die Systeme müssen in allen sechs Freiheitsgraden (X, Y, Z, θX, θY, θZ) aktiv geregelt betreibbar sein und sowohl über analoge als auch digitale Schnittstellen (z. B. SPI oder äquivalent) ansteuerbar sein. Wesentliche Merkmale sind eine große zentrale Öffnung, vollständige 6-DOF-Regelung, hohe zulässige Kräfte sowie lange, präzise Verfahrwege.
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