Tender Republic Ausschreibungen

Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

Ruhr-Universität Bochum, BochumFrist abgelaufen

Frist (abgelaufen)
vor 21 Tagen abgelaufen
Geschätzter Wert
1.024.000 €
Verfahren
Wettbewerblicher Dialog, Lieferung
Ort der Leistung
Bochum · Bochum (Stadt) · Nordrhein-Westfalen
Veröffentlicht
Für KMU geeignet
keine Angabe des Auftraggebers
Branche
Labor und Messtechnik
CPV
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Die Vergabeunterlagen liegen auf der Plattform des Auftraggebers.

Beschreibung

Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.

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