Tender Republic Ausschreibungen

Belackungs- und Entwicklungsstation

Universität Bremen - Zentraler Einkauf, BremenFrist abgelaufen

Frist (abgelaufen)
vor 1088 Tagen abgelaufen
Geschätzter Wert
nicht angegeben
Verfahren
Offenes Verfahren, Lieferung
Ort der Leistung
Bremen (Stadt) · Bremen
Veröffentlicht
Branche
Elektrotechnik
CPV
31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte

Die Vergabeunterlagen liegen auf der Plattform des Auftraggebers.

Beschreibung

Lieferung einer Belackungs- und Entwicklungsstation für hochauflösende optische Lithografie

Ein Los

  1. Los
    Belackungs- und Entwicklungsstation Referenznummer der Bekanntmachung: UNI-31-2023-0009

    Ausgeschrieben wird eine halbautomatische Belackungs- und Entwicklungsstation für hochauflösende optische Lithografie, welche die Prozesse Haftvermittlung/Oberflächenaktivierung im Vakuum, Spin-Coating, Ausheizen, Entwickeln und Spray-Coating von Fotolacken umfasst. Diese Anlage muss die Möglichkeit bieten, diverse fotolithografische Prozesse, als typischerweise ersten Schritt für alle Arten von …

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