Beschaffung einer hybriden Ultrahochvakuum-Beschichtungsanlage für Sputtern und Bedampfen
Ludwig-Maximilians-Universität München, Münchenvergeben
- Frist (abgelaufen)
- keine Frist angegeben
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
- Verfahren
- Offenes Verfahren, Lieferung
- Ort der Leistung
- München (Stadt) · Bayern
- Veröffentlicht
- Branche
- Elektrotechnik
- CPV
- 31640000 Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion
Beschreibung
Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer kombinierten Anlage zum Abscheiden von dünnen Schichten mittels Magnetron-Sputtern (DC und RF) und/oder Aufdampfen (Elektronenstrahlverdampfen und thermisches Verdampfen) von unterschiedlichen Reinstmetallen, Legierungen, Halbleitern und Isolatoren in Ultrahochvakuum (Restgas-druck p < 5 x 10-9 mbar) für die Erforschung zweidimensionaler Materialien in quantenphysikalischen Experimenten.
Zuschlag
Den Zuschlag erhielt BESTEC GmbH aus Berlin am 16.11.2023. 1 Angebote gingen ein.
- Los 1BESTEC GmbH, Berlin16.11.2023
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