Beschaffung eines Upgrades von ELPHY Quantum auf ELPHY Plus
Universität Siegen, Siegenvergeben
- Frist (abgelaufen)
- keine Frist angegeben
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren ohne Teilnahmewettbewerb, Lieferung
- Ort der Leistung
- Siegen · Siegen-Wittgenstein · Nordrhein-Westfalen
- Veröffentlicht
- CPV
- 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Beschreibung
Das am Mikro- und Nanoanalytikzentrum (MNaF) betriebene Lithographie-Anbau-Kit ELPHY Quantum von Raith wird derzeit im Helios NanoLab 600 SEM/FIB-System der Universität Siegen eingesetzt und dient der Strukturierung von elektronenstrahlempfindlichem Lack im nanoskaligen Bereich. Es ist vorgesehen, dieses Kit für den Betrieb an einem der neuen, von der DFG-geförderten SEM/FIB-Systeme von Thermo Fisher, welche in dem neuen Forschungsgebäude INCYTE der Universität Siegen betrieben werden sollen, auf ELPHY Plus aufzurüsten. Die Elektronenstrahl-Lithografie-Funktionalität in Form von ELPHY Plus steht den universitären Forschungszentren, dem Zentrum für Sensorsysteme (ZESS), dem Center for Micro- and Nanochemistry and Engineering (Cµ), dem Center for Innovative Materials (Cm), dem DFG-geförderten Mikro- und Nanoanalytikzentrum (MNaF und der biomedizinischen Sensorforschung, wie auch externen Kooperationspartnern zur Verfügung.
Zuschlag
Den Zuschlag erhielt RAITH GmbH aus Dortmund am 11.03.2025. 1 Angebote gingen ein.
- GesamtRAITH GmbH, Dortmund11.03.2025