Tender Republic Ausschreibungen

Direktschreiblithographie-System

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - Stuttgart, Kölnvergeben

Frist (abgelaufen)
vor 717 Tagen abgelaufen
Geschätzter Wert
nicht angegeben
Verfahren
Offenes Verfahren, Lieferung
Ort der Leistung
Stuttgart · Stuttgart (Stadtkreis) · Baden-Württemberg
Veröffentlicht
Branche
Labor und Messtechnik
CPV
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Beschreibung

Eine Direktschreiblithographie wird für die Herstellung von Halbleiterbauelementen im Rahmen der Forschung und Entwicklung benötigt. Der Betrieb der Direktschreiblithographie muss in einem Reinraum (ISO6) möglich sein und es darf durch den Betrieb keine nennenswerte Partikelemission ausgehen. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

Zuschlag

Den Zuschlag erhielt Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH aus Heidelberg am 19.11.2024.

  1. Los 1
    Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH, Heidelberg
    19.11.2024

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