Electron Beam Lithography system
Karlsruher Institut für Technologie, Eggenstein-Leopoldshafenvergeben
- Frist (abgelaufen)
- keine Frist angegeben
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren ohne Teilnahmewettbewerb, Lieferung
- Ort der Leistung
- Eggenstein-Leopoldshafen · Karlsruhe (Landkreis) · Baden-Württemberg
- Veröffentlicht
- Laufzeit
- 16.12.2024 bis 01.06.2026
- Branche
- Labor und Messtechnik
- CPV
- 38341100 Elektronenstrahlaufzeichnungsgeräte
Beschreibung
Gegenstand dieser Ausschreibung ist die Lieferung eines "Electron Beam Lithography system"; eines Elektonenstrahlschreibers. Die Erzeugung von Mikro- und Nanostrukturen gehört zu den Grundanforderungen vieler im neu geplanten KCOP Gebäudes des KIT vertretenen Arbeitsgruppen. Die permanente und reibungslose Verfügbarkeit einer leistungsfähigen Elektronenlithographie ist daher unabdingbar. Deshalb soll eine 100kV Elektronenlithographieanlage (EBL) für das Karlsruhe Center for Optics and Photonics (KCOP) am KIT - Campus Nord, Eggenstein-L.
Zuschlag
Den Zuschlag erhielt Raith B.V. aus Best am 19.12.2024. 2 Angebote gingen ein.
- Los 1Raith B.V., Best19.12.2024
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