Elektronenstrahlverdampfer-System

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - Stuttgart, Kölnvergeben

Frist (abgelaufen): 23.10.2024, 13:00 Uhrvor 712 Tagen abgelaufen
Geschätzter Wert: nicht angegeben
Verfahren: Offenes Verfahren, Lieferung
Ort der Leistung: Stuttgart · Stuttgart (Stadtkreis) · Baden-Württemberg
Veröffentlicht: 19.09.2024
Branche: Labor und Messtechnik
CPV: 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Beschreibung

Für die Prozessierung von Halbleiterlaserdioden im Rahmen der Forschung und Entwicklung muss ein erprobtes System für das Elektronenstrahlverdampfen (ESV) beschafft werden. Hierbei muss das ESV-System in der Lage sein dünne Metallschichten für Materialabhebungsprozesse (Lift-Off) abzuscheiden. Das ESV-System muss in der Lage sein, entsprechenden Schichten im einer Auf-dampfrate im Bereich von Angström pro Sekunde abzuscheiden. Ebenso müssen die entspre-chenden Schichten sehr homogen mit einer hohen Reproduzierbarkeit abgeschieden werden kön-nen. Das ESV-System muss in der Lage sein, Reinigungs- und Anätzprozesse im Nanometer-Bereich durchführen zu können. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

Zuschlag

Den Zuschlag erhielt Creavac GmbH aus Dresden am 25.11.2024.

Los 1
Creavac GmbH, Dresden
25.11.2024

Beschreibung

Zuschlag

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