FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik, Berlin
- Frist
- in 8 Tagen
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb, Lieferung
- Ort der Leistung
- Berlin · Berlin
- Veröffentlicht
- Laufzeit
- 11.03.2027 bis 11.03.2028
- Für KMU geeignet
- keine Angabe des Auftraggebers
- CPV
- 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Die Vergabeunterlagen liegen auf der Plattform des Auftraggebers.
Beschreibung
Für die Umsetzung aktueller Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wird eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern benötigt. Die Anlage soll hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglichen.