ICP-Ätzanlage
Universität Paderborn, PaderbornFrist abgelaufen
- Frist (abgelaufen)
- vor 627 Tagen abgelaufen
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
- Verfahren
- Offenes Verfahren, Lieferung
- Ort der Leistung
- 33098 · Paderborn · Nordrhein-Westfalen
- Veröffentlicht
- Für KMU geeignet
- keine Angabe des Auftraggebers
- Branche
- Labor und Messtechnik
- CPV
- 38970000 Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft
Die Vergabeunterlagen liegen auf der Plattform des Auftraggebers.
Beschreibung
Ausgeschrieben wird eine Anlage zum reaktiven Ionenätzen mittels induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-RIE). Die Anlage soll ein Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur darstellen und wird im Reinraum der Universität Paderborn aufgestellt. Die Entwicklung von waferskaligen Bauelementen stellt große Anforderungen an die Wafergröße (bis zu 8 Zoll), die Strukturgröße und die Strukturhomogenitäten. Die verwendeten optische Bauelemente basieren auf Wellenleiterstrukturen, die extrem hohe Anforderungen an die Strukturhomogenität und Seitenrauheit stellen. Es sollen Rippenwellenleiter über eine Länge von mehreren Millimetern mit einer hohen Homogenität geätzt werden.
Ähnliche offene Verfahren
Labor und Messtechnik in Deutschland, nach Frist sortiert. Alle anzeigen
- heute, in unter einer StundeProtonentauschreaktions-Massenspektrometer (PTR-MS)Justus-Liebig-Universität Gießen · Offenes Verfahren · GießenGießennicht angegeben
- heute, in unter einer StundeMultispektrales Triple-Kamerasystem MicaSenseUniversität Rostock · Öffentliche Ausschreibung · RostockRostocknicht angegeben
- heute, in 9 StundenLieferung, Installation, Einbringung und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage (UV-Kontaktlithografiesystem)Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V. · Offenes Verfahren · Waldheim / Sachsen · 500.000 €Waldheim / Sachsen500.000 €
- morgenVakuumkompatibler TischForschungsverbund Berlin e.V. · Öffentliche Ausschreibung · Max-Born-Institut für Nichtlineare Optik und Kurzzeitspektroskopie im Forschungsverbund Berlin e.V. Max-Born-Straße 2a 12489 BerlinMax-Born-Institut für Nichtlineare Optik und Kurzzeitspektroskopie im Forschungsverbund Berlin e.V. Max-Born-Straße 2a 12489 Berlinnicht angegeben
- morgenZukunft Bau - GIS-ImmoRisk - Potenzialanalyse und Empfehlung FortschreibungBundesinstitut für Bau-, Stadt- und Raumforschung · Öffentliche Ausschreibungohne Ortnicht angegeben
- morgenEinzelphotonendetektor für sichtbares und nahinfrarotes Licht, 4 StückFriedrich-Schiller-Universität Jena · Öffentliche Ausschreibungohne Ortnicht angegeben