Inspektionsmikroskop
Friedrich-Schiller-Universität Jena, JenaFrist abgelaufen
- Frist (abgelaufen)
- vor 173 Tagen abgelaufen
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
- Verfahren
- Öffentliche Ausschreibung
- Ort der Leistung
- nicht angegeben
- Veröffentlicht
- Branche
- Labor und Messtechnik
- CPV
- 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Die Vergabeunterlagen liegen auf der Plattform des Auftraggebers.
Beschreibung
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena möchte zur Inspektion von Lack- und Wellenleiterstrukturen auf photonischen integrierten Schaltkreisen (PIC) in Lithiumniobat auf Siliziumsubstraten ein (1) Lichtmikroskop beschaffen. Das Mikroskop soll für die schnelle Inspektion zwischen Prozessschritten durch wechselnde Nutzer optimiert sein und die Messung charakteristischer Längen sowie Prüfung typischer Fehlerbilder (Partikel, Lack- und Schichtfehler) ermöglichen. Die technischen Leistungsparameter gem. Anlage 2 sind mindestens zu erfüllen.
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