Ionenstrahltrimanlage
Universität Paderborn, Paderbornvergeben
- Frist (abgelaufen)
- vor 297 Tagen abgelaufen
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
- Verfahren
- Offenes Verfahren, Lieferung
- Ort der Leistung
- Paderborn · Nordrhein-Westfalen
- Veröffentlicht
- Branche
- Labor und Messtechnik
- CPV
- 38970000 Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft
Beschreibung
Ausgeschrieben wurde eine Ionenstrahltrimmanlage, die im Reinraum des PhoQSLabs der Universität Paderborn betrieben werden soll. Dort wird es die Aufgabe der Maschine sein, photonisch integrierte Schaltkreise in der Dicke zu trimmen. Weiterhin soll die Anlage unterschiedlichste Wafer auf Dicke trimmen, sodass weniger als 1nm Dickenabweichung pro Wafer realisiert werden können.
Zuschlag
Den Zuschlag erhielt scia Systems GmbH aus Chemnitz am 22.01.2026. 2 Angebote gingen ein.
- Los 1scia Systems GmbH, Chemnitz22.01.2026
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