Kühlaggregat für Sputter-Magnetron
Fraunhofer FEPFrist abgelaufen
- Frist (abgelaufen)
- vor 726 Tagen abgelaufen
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
- Verfahren
- Öffentliche Ausschreibung
- Ort der Leistung
- Dresden · Sachsen
- Veröffentlicht
Die Vergabeunterlagen liegen auf der Plattform des Auftraggebers.
Beschreibung
Zur Kühlung eines Sputter-Magnetrons wird ein Kühlaggregat benötigt. Speziell soll mit dem zu kühlenden Magnetron das Targetmaterial Gallium gesputtert werden, das bereits bei 27°C schmilzt. Kühlaggregat für Sputter-Magnetron