Lieferung eines Atomic Layer Deposition system PEALD
Karlsruher Institut für Technologie, Karlsruhevergeben
- Frist (abgelaufen)
- keine Frist angegeben
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren ohne Teilnahmewettbewerb, Lieferung
- Ort der Leistung
- Karlsruhe · Karlsruhe (Stadtkreis) · Baden-Württemberg
- Veröffentlicht
- CPV
- 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Beschreibung
Gegenstand dieser Ausschreibung ist die Lieferung eines GEMStar XT-DP, Thermal and Plasma enhanced Atomic Layer Deposition system PEALD with dual manifold zones up to 8 precursors including 2 precursor bottles + heater jackets mit Glovebox interface für das Institute of Photonics and Quantum Electronics (IPQ) am KIT - Campus Süd, Karlsruhe.
Zuschlag
Den Zuschlag erhielt Euris GmbH aus München am 24.01.2025. 2 Angebote gingen ein.
- Los 1Euris GmbH, München24.01.2025