Tender Republic Ausschreibungen

Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)

Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik, Berlinvergeben

Frist (abgelaufen)
vor 312 Tagen abgelaufen
Geschätzter Wert
900.000 €
Verfahren
Offenes Verfahren, Lieferung
Ort der Leistung
Berlin · Berlin
Veröffentlicht
Branche
Druck
CPV
22520000 Trockenätzausrüstung

Beschreibung

FBH-2025-0141 Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)

Ein Los

  1. Los
    Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)

    Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2025-0141 Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)

    Zuschlag: Oxford Instruments GmbH, Wiesbaden

    Geschätzt 900.000 €

Zuschlag

Den Zuschlag erhielt Oxford Instruments GmbH aus Wiesbaden am 20.03.2026. 2 Angebote gingen ein.

  1. Gesamt
    Oxford Instruments GmbH, Wiesbaden
    20.03.2026

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