Lieferung eines Stylus-Profilometers

Beschreibung

1) Zur Angebotsabgabe auffordernde Stelle: Offizielle Bezeichnung: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.; Straße, Hausnummer: Kurt-Schwabe-Straße 4; Postleitzahl: 04736; Ort: Waldheim; Land: DE; Telefon: +49 343276080; Fax: +49 34327608131; Internet-Adresse: www.ksi-sensors.de; E-Mail: ausschreibung@ksi-sensors.de Den Zuschlag erteilende Stelle: s.o. Stelle, bei der die Angebote oder Teilnahmeanträge einzureichen sind: s.o. 2) Verfahrensart: Öffentliche Ausschreibung, Vergabenummer: 2025-2 3) Form, in der Teilnahmeanträge oder Angebote einzureichen sind: Angebote können nur elektronisch abgegeben werden. 4) Ggf. in den Fällen des § 29 (3) die Maßnahmen zum Schutz der Vertraulichkeit und die Informationen zum Zugriff auf die Vergabeunterlagen: entfällt 5) Art und Umfang der Leistung: Das KSI Meinsberg betreibt Forschung an dünnen Schichtsystemen, metallischen PVD-Schichten, Fotolacken sowie Mikro-/Nanostrukturen. Das Profilometer dient zur: 1. Bestimmung von Resistdicken auf Wafern im Bereich ca. 20 nm – 1 µm 2. Analyse metallischer PVD-Schichten (wenige nm bis ~1 µm) 3. Topografie-, Profil- und Rauheitsmessungen an Masken, Lithografiestrukturen und technischen Oberflächen 4. Schonenden Messung empfindlicher Materialien → sehr geringe Messkräfte notwendig 5. Reproduzierbaren Messung kleinster Stufenhöhen im nm-Bereich Das Gerät muss robuste, hochpräzise und driftarme Messungen auf unterschiedlichen Materialien ermöglichen (Metalle, Polymere, Resist, Oxide, Wafersubstrate). Ort(e) der Leistungserbringung: Offizielle Bezeichnung: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V; Straße, Hausnummer: Kurt-Schwabe-Straße 4; Postleitzahl: 04736; Ort: Waldheim, Meinsberg; Land: DE 6) Ggf. Anzahl, Größe und Art der einzelnen Lose: entfällt, da keine losweise Vergabe 7) Nebenangebote sind zugelassen. 8) Etwaige Bestimmungen über die Ausführungsfrist: Beginn: 18.02.2026, Ende: 30.06.2026, Nach Beauftragung 9) Die Vergabeunterlagen werden auf der Vergabeplattform evergabe.de bereitgestellt. Ein unentgeltlicher Abruf ohne Registrierung ist möglich unter https://www.evergabe.de/unterlagen/3307694/zustellweg-auswaehlen. 10) Angebotsfrist: 26.01.2026, 12:00 Uhr; Bindefrist: 17.02.2026 11) Höhe etwa geforderter Sicherheitsleistungen: keine 12) Wesentliche Zahlungsbedingungen oder Angabe der Unterlagen, in denen sie enthalten sind: Vorauszahlungen gegen Vorlage einer Bankbürgschaft Rechnungslegung unter: rechnung@ksi-sensors.de 13) Mit dem Angebot oder dem Teilnahmeantrag vorzulegenden Unterlagen, die der Auftraggeber für die Beurteilung der Eignung des Bewerbers oder Bieters und des Nichtvorliegens von Ausschlussgründen verlangt: siehe Unterlagen 14) Angabe der Zuschlagskriterien, sofern diese nicht in den Vergabeunterlagen genannt werden: entfällt, siehe Vergabeunterlagen Labortechnik/ Messtechnik