Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung eines Multifunktionalen Hochleistungs-Ionenstrahlätz- und -beschichtungssystems
Leibniz Universität Hannover, HannoverFrist abgelaufen
- Frist (abgelaufen)
- vor 417 Tagen abgelaufen
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
- Verfahren
- Offenes Verfahren, Lieferung
- Ort der Leistung
- Garbsen · Region Hannover · Niedersachsen
- Veröffentlicht
- Für KMU geeignet
- keine Angabe des Auftraggebers
- CPV
- 42000000 Industrielle Maschinen
Die Vergabeunterlagen liegen auf der Plattform des Auftraggebers.
Beschreibung
Die Leibniz Universität Hannover, das Institut für Mikroproduktionstechnik, beabsichtigt den Erwerb eines multifunktionales Ionenstrahlsystem, das sowohl (reaktive) Ionenstrahlätzvorgänge ((R)IBE - (Reactive) Ion Beam Etching) als auch (reaktive) Ionenstrahlbeschichtungsvorgänge ((R)IBS - (Reactive) Ion Beam Sputtering) erlaubt. Zur Planarisierung vorangegangener Beschichtungen soll das Ion Beam Figuring/Trimming (IBF/IBT) eingesetzt werden können.