Lift-Off-Prozesmodul

Beschreibung

Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Prozessmodul für die Bearbeitung einzelner Wafer im Lift-Off-Verfahren. Als Prozesschemikalie muss Dimethylsulfoxid (DMSO) verwendet werden. Das DMSO muss aufgeheizt und auf hohen Druck gebracht werden können. Zudem muss hochreines Wasser (DIW) mit 0,055 μS/cm zum Spülen verwendet werden können.

Ein Los

1. Los
   Prozessmodul für die Bearbeitung einzelner Wafer im Lift-Off-Verfahren.

   Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Prozessmodul für die Bearbeitung einzelner Wafer im Lift-Off-Verfahren. Als Prozesschemikalie muss Dimethylsulfoxid (DMSO) verwendet werden. Das DMSO muss aufgeheizt und auf hohen Druck gebracht werden können. Zudem muss hochreines Wasser (DIW) mit 0,055 μS/cm zum Spülen verwendet werden können.

   Zuschlag: Robotechnik Europe GmbH, Singen (Hohentwiel)

   ohne Wert

Zuschlag

Den Zuschlag erhielt Robotechnik Europe GmbH aus Singen (Hohentwiel) am 16.06.2025.

1. Gesamt
   Robotechnik Europe GmbH, Singen (Hohentwiel)

   16.06.2025

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