Lithographiesystem
Universität Leipzig, Leipzigvergeben
- Frist (abgelaufen)
- vor 991 Tagen abgelaufen
- Geschätzter Wert
- 290.000 €
- Verfahren
- Offenes Verfahren, Lieferung
- Ort der Leistung
- Leipzig · Leipzig (Stadt) · Sachsen
- Veröffentlicht
- Branche
- Labor und Messtechnik
- CPV
- 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Beschreibung
Der Leistungsgegenstand dieses Verfahrens ist ein Lithographiesystems zur direkten Erzeugung von Strukturen in Lacken, die auf Festkörperoberflächen aufgebracht sind, mit lateralen Abmessungen von 30 nm oder kleiner.
Zuschlag
Den Zuschlag erhielt Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH aus Heidelberg am 28.02.2024. 1 Angebote gingen ein.
- Los 1Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH, Heidelberg28.02.2024
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