Magnetronsputter-System
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - Stuttgart, Kölnvergeben
- Frist (abgelaufen)
- vor 711 Tagen abgelaufen
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
- Verfahren
- Offenes Verfahren, Lieferung
- Ort der Leistung
- Stuttgart · Stuttgart (Stadtkreis) · Baden-Württemberg
- Veröffentlicht
- Branche
- Labor und Messtechnik
- CPV
- 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Beschreibung
Für die Prozessierung von Halbleiterlaserdioden im Rahmen der Forschung und Entwicklung muss ein erprobtes System für das Magnetronsputtern (MSP) beschafft werden. Hierbei muss das MSP-System in der Lage sein dünne Metall- und Metalloxidschichten für Materialabhebungsprozesse (Lift-Off) abzuscheiden. Die Schichten müssen sehr homogen und mit einer hohen Reproduzier-barkeit abgeschieden werden können. Das MSP-System muss in der Lage sein, Reinigungs- und Anätzprozesse im Nanometer-Bereich durchführen zu können. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Zuschlag
Den Zuschlag erhielt Creavac - creative Vakuumbeschichtung GmbH aus Dresden am 03.12.2024.
- Los 1Creavac - creative Vakuumbeschichtung GmbH, Dresden03.12.2024
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