Maskenlose Lithographie
Technische Universität München, Garching b. Münchenvergeben
- Frist (abgelaufen)
- keine Frist angegeben
- Geschätzter Wert
- 440.000 €
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren ohne Teilnahmewettbewerb, Lieferung
- Ort der Leistung
- Garching · München (Landkreis) · Bayern
- Veröffentlicht
- Branche
- Labor und Messtechnik
- CPV
- 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Beschreibung
Lithographiegerät für maskenlose submikrometer Strukturierung von photoempfindlichen Polymeren
Zuschlag
Den Zuschlag erhielt Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH aus Heidelberg am 24.03.2026. 4 Angebote gingen ein.
- Los 1Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH, Heidelberg24.03.2026
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