Maskenloses Lithographiesystem
Universität Paderborn, PaderbornFrist abgelaufen
- Frist (abgelaufen)
- vor 364 Tagen abgelaufen
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
- Verfahren
- Offenes Verfahren, Lieferung
- Ort der Leistung
- Paderborn · Nordrhein-Westfalen
- Veröffentlicht
- Für KMU geeignet
- keine Angabe des Auftraggebers
- Branche
- Labor und Messtechnik
- CPV
- 38970000 Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft
Die Vergabeunterlagen liegen auf der Plattform des Auftraggebers.
Beschreibung
Ausgeschrieben wird ein maskenloses Lithographiesystem, welches eine flexible Möglichkeit zur Mikrostrukturierung von verschiedenen Oberflächen bieten soll. Das ausgeschriebene System soll zukünftig das Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur an der Universität Paderborn darstellen.
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