Multi Projekt Wafer Run

Beschreibung

1. Allgemeine Informationen: Titel: Multi Projekt Wafer Run 2. Auftraggeber: Name des Auftraggebers: NaMLab gGmbH; Straße, Hausnummer: Nöthnitzer Straße 64 a; PLZ: 01187; Ort: Dresden; Land: Deutschland; Telefon: +49 35121249900; E-Mail: einkauf@namlab.com; Internet-Adresse: https://www.namlab.com 3. Vergabeverfahren: Vergabeart/Rechtsrahmen: Freihändige Vergabe ohne Teilnahmewettbewerb - VOL/A; Vergabenummer: NLB2025_06 4. Auftragsgegenstand: CPV-Code: 31712114; Art und Umfang der Leistung: Die Leistung umfasst die Bestellung eines Multi Project Wafer Runs (MPW Run) bestehend aus 27 Photolithographiemasken und 27 Prozessebenen mit verschiedenen den Modulen. Bestellt werden sollen im Einzelnen ein 4 Metalllagen Maskensatz mit einer reduzierten Anzahl von Retikeln, so dass bis zu 4 Ebenen pro Retikel gefertigt werden können. Es wird die entsprechende Datenpräparation benötigt und ein Engineering Lot mit 3 Wafern voll prozessiert von denen zumindest 1 Wafer am Ende zur Basischarakterisierung geliefert wird. Zusätzlich sollen ein Splitlos bestehend aus 9 Wafern prozessiert werden, von denen am Ende mindestens 6 geliefert werden. Es handelt sich um spezielle Designs, die auf die von der X-Fab angebotenen Technologie ausgerichtet sind, so dass für die Forschungsaufgabe kein anderer Auftragnehmer in Frage kommt. 5. Ausführungsort: Offizielle Bezeichnung: X-Fab Sarawak Sdn. Bhd.; PLZ: 93350; Ort: Kuching; Land: Malaysia 6. Ausführungszeitraum: Zeitraum der Ausführung: 06-08/2025 7. Auftragnehmer: Name des Auftragnehmers: X-Fab Sarawak Sdn. Bhd.; Straße, Hausnummer: 1, Silicon Drive, Sama Jaya Free Ind. Zone; PLZ: 93350; Ort: Kuching; Land: Malaysia; Telefon: +60 82354888; Fax: +60 82354992; Internet-Adresse: https://www.xfab.com/ 8. Zusätzliche Angaben: Datum, bis zu dessen Ablauf die Bekanntmachung sichtbar bleiben soll: 15.09.2025 Elektro