Process Monitoring Tool
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., ErlangenFrist abgelaufen
- Frist (abgelaufen)
- vor 210 Tagen abgelaufen
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
- Verfahren
- Offenes Verfahren, Lieferung
- Ort der Leistung
- Dresden (Stadt) · Sachsen
- Veröffentlicht
- Laufzeit
- 01.06.2026 bis 31.07.2026
- Für KMU geeignet
- ja, laut Bekanntmachung
- CPV
- 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Die Vergabeunterlagen liegen auf der Plattform des Auftraggebers.
Beschreibung
Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling processing on standard 300 mm tools and handle the 200 mm wafers in adapter into a SEMI standard 300 mm FOUP.