Reaktives-Ionenätzen-System
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - Stuttgart, Stuttgartvergeben
- Frist (abgelaufen)
- vor 718 Tagen abgelaufen
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
- Verfahren
- Offenes Verfahren, Lieferung
- Ort der Leistung
- Stuttgart · Stuttgart (Stadtkreis) · Baden-Württemberg
- Veröffentlicht
- Branche
- Labor und Messtechnik
- CPV
- 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Beschreibung
Für die Prozessierung von Halbleiterbauelementen im Rahmen der Forschung und Entwicklung wird ein erprobtes System für das Reaktive Ionen Ätzen (RIE) benötigt. Das RIE-System muss das kontrollierte und reproduzierbare Ätzen der III-V-Verbindungshalbleiter GaAs und InP sowie das Ätzen von dielektrischen Materialien wie zum Beispiel SiO2 und Si3N4 ermöglichen. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Zuschlag
Den Zuschlag erhielt Oxford Instruments GmbH aus Wiesbaden am 07.11.2024.
- Los 1Oxford Instruments GmbH, Wiesbaden07.11.2024
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