Reaktives Ionenätzsystem, Deep-RIE
Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM, GarchingFrist abgelaufen
- Frist (abgelaufen)
- vor 1477 Tagen abgelaufen
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Veröffentlicht
- Branche
- Elektrotechnik
- CPV
- 31640000 Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Die Vergabeunterlagen liegen auf der Plattform des Auftraggebers.
Beschreibung
Reaktives Ionenätzsystem, Deep-RIE
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