Retrofit PECVD Anlage
Universität Siegen, Siegen
- Frist (abgelaufen)
- keine Frist angegeben
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren ohne Teilnahmewettbewerb
- Ort der Leistung
- Siegen-Wittgenstein · Nordrhein-Westfalen
- Veröffentlicht
- CPV
- 51500000 Installation von Maschinen und Geräten51430000 Installation von labortechnischen Anlagen · 51540000 Installation von Maschinen und Geräten für besondere Zwecke
Beschreibung
Unsere vorhandene PECVD Clusteranlage, zur Herstellung von amorphen Dünnschichtmaterialien, soll auch im neuen INCYTE Gebäude weiterbetrieben werden. Dazu muss diese im Gebäu-de Hölderlin E abgebaut und INCYTE erneut aufgebaut und von einer Fachfirma in Betrieb genommen werden. In der PECVD Clusteranlage der Firma MVS werden und wurden zum dotieren der Silizium-schichten, meist hoch-toxische Gase verwendet. Ein Abbau, Dekontamination und Wiederaufbau inkl. Aktualisierung aller Systemkomponenten, Anbindung an die Sicherheitsinfrastruktur des Forschungsneubaus und Vorabtests im Bestand (Gaswarnsysteme) sowie die Erstellung einer umfassenden Dokumentation sind daher sicherheitsrelevant und sehr komplex.
Ein Los
- LosRetrofit PECVD
Unsere vorhandene PECVD Clusteranlage, zur Herstellung von amorphen Dünnschichtmaterialien, soll auch im neuen INCYTE Gebäude weiterbetrieben werden. Dazu muss diese im Gebäu-de Hölderlin E abgebaut und INCYTE erneut aufgebaut und von einer Fachfirma in Betrieb genommen werden. In der PECVD Clusteranlage der Firma MVS werden und wurden zum dotieren der Siliziumschichten, meist hochtoxische Gase …
ohne Wert