Rückverfolgbares 3D-Längenmesssystem im Bereich mm - nm
IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), IlmenauFrist abgelaufen
- Frist (abgelaufen)
- vor 1047 Tagen abgelaufen
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
- Verfahren
- Öffentliche Ausschreibung
- Ort der Leistung
- nicht angegeben
- Veröffentlicht
Die Vergabeunterlagen liegen auf der Plattform des Auftraggebers.
Beschreibung
Rückverfolgbares 3D-Längenmesssystem im Bereich mm - nm Zu beschaffen ist ein 3D-Messsystem, mit dessen Hilfe die Positioniergenauigkeiten der eigenen (Sub-)Nanometer-Positioniersysteme qualifiziert werden können. Um dieser Aufgabe gerecht zu werden, sind eine extreme Spreizung der abbildbaren Vergrößerung sowie Messgenauigkeiten im Nanometerbereich notwendig. Es ist möglich, eine Kombination unterschiedlicher Messverfahren in einem Gerät anzubieten, um die geforderte Vergrößerungsspreizung erreichen zu können. Die Auflistung der einzelnen Leistungsparameter ist in beigefügter Leistungsbeschreibung aufgeführt.