Semi-automatic prober for characterization of 200 mm wafers
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Frankfurt (Oder)
- Frist
- in 8 Tagen
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
- Verfahren
- Offenes Verfahren, Lieferung
- Ort der Leistung
- Frankfurt (Oder) · Frankfurt (Oder) (Stadt) · Brandenburg
- Veröffentlicht
- Für KMU geeignet
- ja, laut Bekanntmachung
- Branche
- Labor und Messtechnik
- CPV
- 38540000 Maschinen und Geräte zum Prüfen und Messen
Die Vergabeunterlagen liegen auf der Plattform des Auftraggebers.
Beschreibung
Supply, delivery, installation, commissioning and integration of a semi-automatic wafer prober system for the electrical and temperature-dependent characterization of 200 mm wafers. The system shall support DC and pulsed I-V as well as low-frequency impedance measurements up to 10 MHz and shall be integrated with the existing Keithley 4200A-SCS characterization system. The scope includes the prober, temperature-controlled chuck, electrical probes, optical and camera systems, control hardware and software, cabling and interfaces, installation, commissioning, operator training and integration support.
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