SiCl4-Zufuhrsystem (Siliziumtretrachlorid)
Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme IPMSFrist abgelaufen
- Frist (abgelaufen)
- vor 1362 Tagen abgelaufen
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
- Verfahren
- Öffentliche Ausschreibung
- Ort der Leistung
- Dresden · Sachsen
- Veröffentlicht
Die Vergabeunterlagen liegen auf der Plattform des Auftraggebers.
Beschreibung
Equipments zur Zuführung von gasförmigem Siliziumtetrachlorid (SiCl4) zu zwei Ätzsystemen (Applied Materials Centura) aus einem mit flüssigem SiCl4 gefüllten Precursor-Behälter. Der Precursor-Behälter enthält bis zu 800 g flüssiges SiCl4 . Das gesamte Equipment und alle Subsysteme müssen chemisch stabil sein. Das Gesamtsystem muss kompatibel zur RR-Klasse <=1000 (ca. Klasse 6 EN ISO 14644-1) oder besser sein. SiCl4-Zufuhrsystem (Siliziumtretrachlorid)