UV-Lithografiesystem (Mask-Aligner mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage
Technische Universität Ilmenau, Ilmenauvergeben
- Frist (abgelaufen)
- vor 908 Tagen abgelaufen
- Geschätzter Wert
- 442.000 €
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
- Ort der Leistung
- Thüringen
- Veröffentlicht
- Branche
- Labor und Messtechnik
- CPV
- 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Beschreibung
Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein UV-Lithografiesystem mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage mit Autoalignmentfunktion für die maskenbasierte deckungsgenaue Mehrebenenlithografie für 2,5- und 3-dimensionale Mikro- und Nanostrukturen auf Substraten bis 150 mm Durchmesser sowie Bondalignment im Laborbetrieb zu beschaffen.
Zuschlag
Den Zuschlag erhielt EV Group E.Thallner GmbH aus Neuhaus am Inn am 21.08.2024.
- Los 1EV Group E.Thallner GmbH, Neuhaus am Inn21.08.2024
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