Tender Republic Ausschreibungen

VRTP-Kammern

NaMLab gGmbHFrist abgelaufen

Frist (abgelaufen)
vor 419 Tagen abgelaufen
Geschätzter Wert
480.000 €
Verfahren
Offenes Verfahren, Lieferung
Ort der Leistung
Dresden · Dresden (Stadt) · Sachsen
Veröffentlicht
Für KMU geeignet
ja, laut Bekanntmachung
Branche
Elektrotechnik
CPV
31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte

Die Vergabeunterlagen liegen auf der Plattform des Auftraggebers.

Beschreibung

VRTP-Kammern

Ein Los

  1. Los 1
    Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von zwei neuen nicht gebrauchten Vakuum-Prozesskammern zur thermischen Behandlung von Wafern und Proben

    Die beabsichtigte Beauftragung umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von zwei neuen nicht gebrauchten Vakuumprozesskammern zur thermischen Behandlung von Wafern und Proben unter unterschiedlichen Gas-Atmosphären und im Vakuum mit sehr steilen Aufheizrampen bis 1200°C und Abkühlrampen (engl. VRTP). Die beiden Kammern können als eine Anlage mit zwei Prozesskammern oder als zwei …

    Geschätzt 480.000 €

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