Zusatzkomponenten zur Einmessung von Justagemarken(Software) und zur Erzeugung mesoskaliger Strukturen sowie flexibel einsetzbarer Substrathalter für bestehende 2-Photonenlithografieanlage
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Beschreibung
Gegenstand des Auftrags ist die Lieferung von Zusatzkomponenten zur Einmessung von Justagemarken (Software) und zur Erzeugung mesoskaliger Strukturen, sowie flexibel einsetzbarer Substrathalter, passend für die bestehende 2-Photonenlithografieanlage „Quantum X shape“ (Fa. Nanoscribe) gemäß den Anforderungen der Leistungsbeschreibung (Anlage 1 der Vergabeunterlagen).