Ionenstrahlätzanlage

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V., Jenavergeben

Frist (abgelaufen): 10.09.2025, 13:00 Uhrvor 390 Tagen abgelaufen
Geschätzter Wert: 1.189.000 €
Verfahren: Offenes Verfahren, Lieferung
Ort der Leistung: Jena · Jena (Stadt) · Thüringen
Veröffentlicht: 06.08.2025
Laufzeit: 01.10.2025 bis 15.12.2026
Branche: Labor und Messtechnik
CPV: 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Beschreibung

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtstrukturierung und -abscheidung eine Ionenstrahlätz- und Beschichtungsanlage aus, welche zum Ätzen und Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Ätzprozesse verschiedener metallischer, halbleitender und isolierender Schichten sowie das Abscheiden metallischer und isolierender Schichten ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen). Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

Zuschlag

Den Zuschlag erhielt scia Systems GmbH aus Chemnitz am 16.09.2025. 2 Angebote gingen ein.

Los 1
scia Systems GmbH, Chemnitz
16.09.2025

Beschreibung

Zuschlag

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