Lieferung und Installation einer manuellen Abscheideanlage für Molecular-Layer-Deposition
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Frankfurt (Oder)Frist abgelaufen
- Frist (abgelaufen)
- vor 423 Tagen abgelaufen
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
- Verfahren
- Offenes Verfahren, Lieferung
- Ort der Leistung
- Frankfurt (Oder) · Frankfurt (Oder) (Stadt) · Brandenburg
- Veröffentlicht
- Für KMU geeignet
- ja, laut Bekanntmachung
- Branche
- Labor und Messtechnik
- CPV
- 38500000 Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen
Die Vergabeunterlagen liegen auf der Plattform des Auftraggebers.
Beschreibung
Ausgeschrieben wird die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Manuellen Molecular-Layer-Deposition Abscheideanlage (MLD-Anlage) zum flächigen Beschichten von Wafern mit Abmessungen von 200 mm Durchmesser und einer Dicke von 150 bis 750 µm.
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