maskenloses UV-Direktlithographie-System
Friedrich-Schiller-Universität Jena, Jenavergeben
- Frist (abgelaufen)
- vor 102 Tagen abgelaufen
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
- Verfahren
- Offenes Verfahren, Lieferung
- Ort der Leistung
- Jena (Stadt) · Thüringen
- Veröffentlicht
- Branche
- Labor und Messtechnik
- CPV
- 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Beschreibung
Beschafft werden soll ein kompaktes, für den Reinraumeinsatz geeignetes Tischsystem zur maskenlo-sen UV-Direktlithographie für Forschung, Entwicklung und Kleinserien-Prototyping. Das System muss sowohl eine rasterbasierte Vollflächenbelichtung als auch einen zusätzlichen vektorbasierten Direkt-belichtungsmodus bereitstellen, um hochauflösende Mikro- und Nanostrukturen, Ausbesserungen bestehender Strukturen sowie konturtreue Linienbelichtungen auf unterschiedlichsten Substraten zu ermöglichen. Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2
Zuschlag
Den Zuschlag erhielt Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH aus Heidelberg am 14.07.2026.
- Los 1Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH, Heidelberg14.07.2026
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