System zur Herstellung von thermischen CVD Nitrid-Schichten mittels NH3 und DCS und zur Herstellung von Oxid-Schichten mittels O2 und TEOS
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Frankfurt (Oder)vergeben
- Frist (abgelaufen)
- vor 969 Tagen abgelaufen
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
- Verfahren
- Offenes Verfahren, Lieferung
- Ort der Leistung
- Frankfurt (Oder) · Frankfurt (Oder) (Stadt) · Brandenburg
- Veröffentlicht
- Branche
- Labor und Messtechnik
- CPV
- 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Beschreibung
System zur Herstellung von thermischen CVD Nitrid-Schichten mittels NH3 und DCS und zur Herstellung von Oxid-Schichten mittels O2 und TEOS
Zuschlag
Den Zuschlag erhielt ASM Europe B.V. aus ALMERE am 09.07.2024. 18 Angebote gingen ein.
- Los 1ASM Europe B.V., ALMERE09.07.2024
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