Vakuumsystem für Ionenimplantationen
Friedrich-Schiller-Universität Jena, Jenavergeben
- Frist (abgelaufen)
- vor 490 Tagen abgelaufen
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
- Verfahren
- Offenes Verfahren, Lieferung
- Ort der Leistung
- Jena (Stadt) · Thüringen
- Veröffentlicht
- Branche
- Labor und Messtechnik
- CPV
- 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Beschreibung
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt für Ihre wissenschaftliche Tätigkeit die Erweiterung und Erneuerung eines (1) Vakuumsystems, welches für die Halterung und Ionenimplantation von Wafern (Halbleiterscheiben) mit Durchmessern von bis zu 100 Millimeter geeignet ist und welches die folgenden Komponenten enthält und technischen Leistungsparameter mindestens erfüllen muss. Die Vergabestelle behält sich vor Angebote über einem Gesamtauftragswert von 202.000,00 Euro netto von der Wertung auszuschließen. Liegen alle Angebote über dieser Grenze, ist die Vergabestelle berechtig die Ausschreibung aufzuheben.
Zuschlag
Den Zuschlag erhielt High Voltage Engineering Europa B.V. aus Amersfoort am 26.06.2025.
- Los 1High Voltage Engineering Europa B.V., Amersfoort26.06.2025
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