Vakuumsystem für Ionenimplantationen

Friedrich-Schiller-Universität Jena, JenaFrist abgelaufen

Frist (abgelaufen): 23.04.2025, 10:00 Uhrvor 530 Tagen abgelaufen
Geschätzter Wert: nicht angegeben
Verfahren: Offenes Verfahren
Ort der Leistung: Jena (Stadt) · Thüringen
Veröffentlicht: 19.03.2025
Für KMU geeignet: keine Angabe des Auftraggebers
Branche: Labor und Messtechnik
CPV: 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Die Vergabeunterlagen liegen auf der Plattform des Auftraggebers.

Beschreibung

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt für Ihre wissenschaftliche Tätigkeit die Erweiterung und Erneuerung eines (1) Vakuumsystems, welches für die Halterung und Ionenimplantation von Wafern (Halbleiterscheiben) mit Durchmessern von bis zu 100 Millimeter geeignet ist und welches die folgenden Komponenten enthält und technischen Leistungsparameter mindestens erfüllen muss. Die Vergabestelle behält sich vor Angebote über einem Gesamtauftragswert von 202.000,00 Euro netto von der Wertung auszuschließen. Liegen alle Angebote über dieser Grenze, ist die Vergabestelle berechtig die Ausschreibung aufzuheben.

Beschreibung

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