Ein Plasma-Ätzsystem (Reactive Ion Etching, RIE) für das Center of MicroNanoTechnology
Öffentliche Ausschreibung in Waadt, Schweiz von EPFL-Scientific Equipment. Angebote bis 12.11.2026, 23:59 Uhr.
Eckdaten
- Auftraggeber
- EPFL-Scientific Equipment
- Ort
- Lausanne, Waadt
- Angebotsfrist
- 12.11.2026, 23:59 Uhr
- Veröffentlicht
- 06.10.2026
- Verfahrensart
- Offenes Verfahren
- Branche
- Labor und Messtechnik
- CPV
- 38000000
- Geschätzter Wert
- nicht angegeben
Quelle: TED, Supplement zum Amtsblatt der Europäischen Union, Bekanntmachung 688748-2026 vom 06.10.2026. Zusammengefasst; maßgeblich ist die veröffentlichte Bekanntmachung.
Die Vergabeunterlagen liegen auf der Vergabeplattform; den Link sehen registrierte Nutzer: Kostenlos registrieren oder anmelden.
Beschreibung laut Bekanntmachung
Die EPFL beabsichtigt, für ihr Center of MicroNanoTechnology (CMi) ein Plasma-Ätzsystem (Reactive Ion Etching, RIE) als Plattform für das Ätzen von Metallen zu beschaffen. Das System soll sowohl für quadratische Fotomasken als auch für Standard-Wafer in verschiedenen Größen ausgelegt sein. Das CMi ist eine nutzerorientierte Einrichtung für die Mikro- und Nanofabrikation, die allen Fakultäten der EPFL zentralen Zugang zu Reinraumkapazitäten bietet und auch der lokalen Industrie offensteht (mit jährlich mehr als 650 aktiven Nutzern). Die Anlage ist für Spitzenforschung im Bereich der Mikro- und Nanofabrikation vorgesehen, insbesondere für die Strukturierung von Metallschichten auf lithografischen Masken/Reticles sowie auf Wafern. Bei der Bewertung wird nicht nur auf die Ätzqualität geachtet, sondern – als zweiter wesentlicher Aspekt für die angestrebte Flexibilität des Systems – auch darauf, wie Kreuzkontaminationen zwischen verschiedenen Materialien vermieden werden. Ebenso von großer Bedeutung sind die Benutzerfreundlichkeit für eine effiziente Schulung neuer Anwender, die Vielseitigkeit der Prozesssteuerung sowie die nachgewiesene Robustheit der Anlage für den Einsatz in einer Reinraumumgebung für Forschung und Entwicklung. Auch die Reaktionsfähigkeit und räumliche Nähe des Anbieters im Hinblick auf den umfassenden Support (technisch und prozesstechnisch) werden berücksichtigt.
Weitere offene Verfahren Labor und Messtechnik in der Schweiz
- in 5 TagenBeschaffung eines cryo-konfokalen FluoreszenzmikroskopsInstitut für Biochemie und Molekulare Medizin · Offenes Verfahren · BernBernnicht angegeben
- in 7 TagenEine Sputter-Abscheidungsanlage, speziell für die Herstellung von qualitativ hochwertigen supraleitenden DünnschichtenEPFL-Scientific Equipment · Offenes Verfahren · LausanneLausannenicht angegeben
- in 13 TagenUltra-high Resolution Electron-beam Lithography SystemETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services · Offenes Verfahren · RüschlikonRüschlikonnicht angegeben
- in 14 TagenRasterelektronenmikroskop zur Bildgebung und quantitativen Analyse an geologischen ProbenETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services · Offenes Verfahren · Zürich ETH ZentrumZürich ETH Zentrumnicht angegeben
- in 19 TagenBeschaffung eines Leistungsmoduls mit zugehörigem Steuerungssystem im Hinblick auf den Aufbau einer HochspannungsstromversorgungEPFL-Scientific Equipment · Offenes Verfahren · LausanneLausannenicht angegeben
- in 27 TagenLC-MS mit on-/offline ProbenanreicherungBundesamt für Rüstung armasuisse · Offenes Verfahren · PosieuxPosieuxnicht angegeben
- in 28 TagenRöntgen-CT-System für die Analyse von Gesteins- und BodenprobenETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services · Offenes Verfahren · Zürich ETH HönggerbergZürich ETH Hönggerbergnicht angegeben
- in 30 TagenUltra-Hochleistungs-Flüssigchromatographie Geräte gekoppelt mit Triple Quadrupol Massenspektrometer - 3 GeräteZentrale Beschaffungsstelle Kanton Basel-Landschaft · Offenes Verfahren · LiestalLiestalnicht angegeben
- in 33 TagenAcquisition d'un irradiateur pour l'IRACHUV - centrale d'achats et d'ingénierie biomédicale (CAIB) · Offenes Verfahrenohne Ortnicht angegeben
- in 34 TagenEin gravimetrischer Hochdruck-Gas- und DampfsorptionsanalysatorEPFL-Scientific Equipment · Offenes Verfahren · SionSionnicht angegeben
Daten: TED (Supplement zum Amtsblatt der EU). Quellen und Lizenzen